GB/T 30656-2023

摘要：GB/T 30656-2023标准2023年03月17日发布2023年10月01日实施，此标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。此标准适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。