T/IAWBS 016-2022

摘要：T/IAWBS 016-2022标准2022年03月17日发布2022年03月24日实施，本文件根据碳化硅单晶的材料性能特点，并结合目前国内碳化硅晶体质量检测技术的研究水平，对碳化硅单晶摇摆曲线的测量原理、测量精度保障、测量步骤等内容作出了规定。本文件的主要结构和内…《碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法》团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟。