GB/T 30866-2014

摘要：GB/T 30866-2014标准2014年07月24日发布2015年02月01日实施，此标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。此标准适用于碳化硅单晶片直径的量。国家标准《碳化硅单晶片直径测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。