T/ZZB 2283-2021

摘要：T/ZZB 2283-2021标准2021年08月26日发布2021年09月26日实施，本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N（99…《半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉》团体名称为浙江省质量协会。