GB/T 41765-2022

摘要：GB/T 41765-2022标准2022年10月12日发布2023年05月01日实施，此标准规定了碳化硅单晶位错密度的测试方法。此标准适用于晶面偏离{0001}面、偏向{1120}方向0°~8°的碳化硅单晶位错密度的测试。国家标准《碳化硅单晶位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。