GB/T 42271-2022

摘要：GB/T 42271-2022标准2022年12月30日发布2023年04月01日实施，此标准描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。此标准适用于测量电阻率范围为1×105Ω·cm~1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。国家标准《半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。