GB/T 42902-2023

摘要：GB/T 42902-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。此标准适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。国家标准《碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。