GB/T 35306-2023

摘要：GB/T 35306-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。此标准适用于室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×1014cm-31.5×1017cm-3。国家标准《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。