GB/T 42263-2022

摘要：GB/T 42263-2022标准2022年12月30日发布2023年04月01日实施，此标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。国家标准《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。