GB/T 24581-2022

摘要：GB/T 24581-2022标准2022年03月09日发布2022年10月01日实施，此标准描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中Ⅲ、V族杂质含量的方法。此标准适用于硅单晶中的Ⅲ、V族杂质铝（A1）、锑（Sb）、砷（As）、硼（B）、镓（Ga）、铟（In）和磷（P）含量的测定，各元素的测定范围（以原子数计）为1.0×1010cm-3 ~ 4.1×1014cm-3。国家标准《硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。