GB/T 14600-2009

摘要：GB/T 14600-2009标准2009年10月30日发布2010年05月01日实施，u3000u3000此标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。国家标准《电子工业用气体 氧化亚氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。