GB/T 16944-2009

摘要：GB/T 16944-2009标准2009年10月30日发布2010年05月01日实施，u3000u3000此标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、、加压，化学气相淀积等。国家标准《电子工业用气体 氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。