GB/T 14604-2009

摘要：GB/T 14604-2009标准2009年10月30日发布2010年05月01日实施，u3000u3000此标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。国家标准《电子工业用气体 氧》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。