GB/T 16942-2009

摘要：GB/T 16942-2009标准2009年10月30日发布2010年05月01日实施，u3000u3000此标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。国家标准《电子工业用气体 氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。