GB/T 14601-2009

摘要：GB/T 14601-2009标准2009年10月30日发布2010年05月01日实施，u3000u3000此标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000此标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。国家标准《电子工业用气体 氨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。