GB/T 42896-2023

摘要：GB/T 42896-2023标准2023年08月06日发布2023年12月01日实施，此标准描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。此标准适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。