GB/T 42897-2023

摘要：GB/T 42897-2023标准2023年08月06日发布2023年12月01日实施，此标准描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。此标准适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。