GB/T 26111-2023

摘要：GB/T 26111-2023标准2023年05月23日发布2023年09月01日实施，此标准界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。此标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。