GB/T 38447-2020

摘要：GB/T 38447-2020标准2020年03月06日发布2020年07月01日实施，此标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。此标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。