GB/T 34900-2017

摘要：GB/T 34900-2017标准2017年11月01日发布2018年05月01日实施，此标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微双端固支梁结构表面形貌进行残余应变测量的方法。此标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微双端固支梁结构。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。