GB/T 34893-2017

摘要：GB/T 34893-2017标准2017年11月01日发布2018年05月01日实施，此标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。此标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。