GB/T 26113-2010

摘要：GB/T 26113-2010标准2011年01月10日发布2011年10月01日实施，此标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。此标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。