GB/T 34899-2017

摘要：GB/T 34899-2017标准2017年11月01日发布2018年05月01日实施，此标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。此标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。