GB/T 38446-2020

摘要：GB/T 38446-2020标准2020年03月06日发布2020年10月01日实施，此标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。此标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。国家标准《微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。