GB/T 30652-2023

摘要：GB/T 30652-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准规定了硅外延用三氯氢硅（SHCl3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。此标准适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。