T/CNIA 0061-2020

摘要：T/CNIA 0061-2020标准2020年05月27日发布2020年08月01日实施，本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。本标准适用于…《硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》团体名称为中国有色金属工业协会。