摘要：YS/T 1060-2015标准2015年04月30日发布2015年10月01日实施，本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。中文标题为《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》
分类：制造业
更新：2025-01-15最后编辑
名称：YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
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