摘要：YS/T 1059-2015标准2015年04月30日发布2015年10月01日实施，本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。中文标题为《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》
分类：制造业
更新：2025-01-15最后编辑
名称：YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
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摘要：YS/T 1059-2015标准2015年04月30日发布2015年10月01日实施，本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。中文标题为《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》
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名称：YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
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