GB/T 41751-2022

摘要：GB/T 41751-2022标准2022年10月12日发布2023年02月01日实施，此标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。此标准适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化稼单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化榢外延片晶面曲率半径的测试可参照此标准进行。国家标准《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。