GB/T 32189-2015

摘要：GB/T 32189-2015标准2015年12月10日发布2016年11月01日实施，此标准规定了用原子力显微镜测试氮化镓单晶衬底表面粗糙度的方法。 此标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10nm 的氮化镓单晶衬底。其他具有相似表面结构的半导体单晶衬底应用此标准提供的方法进行测试前,需经测试双方协商达成一致。国家标准《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。