GB/T 32282-2015

摘要：GB/T 32282-2015标准2015年12月10日发布2016年11月01日实施，此标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。 此标准适用于位错密度在110^3 个/cm2~510^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。国家标准《氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。