GB/T 32188-2015

摘要：GB/T 32188-2015标准2015年12月10日发布2016年11月01日实施，此标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 此标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。