GB/T 20228-2021

摘要：GB/T 20228-2021标准2021年05月21日发布2021年12月01日实施，此标准规定了砷化镓单晶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。此标准适用于液封直拉法（LEC)、垂直梯度凝固法（VGF)、垂直布里奇曼法（VB）生长的，用于制备光电子、微电子等器件的砷化W,单晶，不适用于水平布里奇曼法（HB）生长的砷化镓单晶。国家标准《砷化镓单晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。