GB/T 19199-2015

摘要：GB/T 19199-2015标准2015年12月10日发布2016年07月01日实施，此标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。 此标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×10^15 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×10^14atoms/cm3。国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。