GB/T 1551-2021

摘要：GB/T 1551-2021标准2021年05月21日发布2021年12月01日实施，此标准规定了用直排四探针法和直流两探针法测试硅单晶电阻率的方法。此标准适用于硅单晶电阻率的测试，其中直排四探针法可测试的P型硅单晶电阻率范围为7X10-4cm~8X103cm，n型硅单晶电阻率范围为7X10-4cm~1.5X10-4cm；直流两探针法适用于测试截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率。测试范围为1X10-3cm~1X10-4cm，样品长度与截面最大尺寸之比不小于3：1。硅单晶其他范围电阻率的测试可参照此标准进行。国家标准《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。