GB/T 31058-2014

摘要：GB/T 31058-2014标准2014年12月22日发布2015年07月01日实施，此标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。此标准适用于萤石硫酸法、六硅酸盐热分解法、单质硅直接化法制备的四氟化硅它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。国家标准《电子工业用气体 四氟化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。