GB/T 18867-2014

摘要：GB/T 18867-2014标准2014年12月22日发布2015年07月01日实施，此标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。此标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。