GB/T 18994-2014

摘要：GB/T 18994-2014标准2014年12月22日发布2015年07月01日实施，此标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 此标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。国家标准《电子工业用气体 高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。