GB/T 14602-2014

摘要：GB/T 14602-2014标准2014年12月22日发布2015年07月01日实施，此标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。此标准适用于以工业化氢为原料，采用纯化制得的化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HC1。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。国家标准《电子工业用气体 氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。