T/ICMTIA 5.2-2020

摘要：T/ICMTIA 5.2-2020标准2020年12月31日发布2021年03月01日实施，本文件规定了ArF浸没式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储。《集成电路用ArF浸没式光刻胶》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。