T/ICMTIA 5.3-2020

摘要：T/ICMTIA 5.3-2020标准2020年12月31日发布2021年03月01日实施，本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。《集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。