T/ICMTIA 4.1-2020

摘要：T/ICMTIA 4.1-2020标准2020年12月31日发布2021年03月01日实施，本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第1部分液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。《集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。