GB/T 1554-2009

摘要：GB/T 1554-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。