T/IAWBS 010-2019

摘要：T/IAWBS 010-2019标准2019年12月27日发布2019年12月31日实施，随着SiC产业的发展，获得完美表面的SiC单晶抛光片已成为碳化硅材料应用的关键环节之一。为了制造高性能的SiC电力电子器件，要求晶片晶格完整，具有平整度极高的无损伤超平滑表面，…《碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法》团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟。