GB/T 1555-2023

摘要：GB/T 1555-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准描述了X射线衍射定向和光图定向测定半导体单晶晶向的方法。此标准适用于半导体单晶晶向的测定。X射线衍射定向法适用于测定硅、锗、砷化镓、碳化硅、氧化镓、氮化傢、锑化铟和磷化钢等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向：光图定向法适用于测定硅、锗等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向。国家标准《半导体单晶晶向测定方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。