T/CEMIA 023-2021

摘要：T/CEMIA 023-2021标准2021年07月15日发布2021年12月25日实施，本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采…《半导体单晶硅生长用石英坩埚》团体名称为中国电子材料行业协会。