T/CEMIA 024-2021

摘要：T/CEMIA 024-2021标准2021年07月15日发布2021年12月25日实施，本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》团体名称为中国电子材料行业协会。