GB/T 42789-2023

摘要：GB/T 42789-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。此标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。国家标准《硅片表面光泽度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。