GB/T 14146-2021

摘要：GB/T 14146-2021标准2021年05月21日发布2021年12月01日实施，此标准规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。此标准适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4X101310cm-3~81016cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照此标准进行，其中无接触电容-电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。