摘要：YS/T 15-2015标准2015年04月30日发布2015年10月01日实施，本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。中文标题为《硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法》
分类：制造业
更新：2025-01-15最后编辑
名称：YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
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